В Бауманке создан прибор генерации ионов для нужд отечественной микроэлектроники
Москва. 3 октября. ИНТЕРФАКС – В МГТУ им. Н.Э. Баумана разработана линейка бессеточных источников ионов – это первый прибор, который создан в вузе по программе Научного приборостроения.
"Устройство предназначено для генерации сильно расходящихся ускоренных пучков ионов в условиях вакуума. Оно найдет применение на предприятиях, занимающихся оптикой и микроэлектроникой, которые специализируются на нанесении функциональных покрытий", - сообщает пресс-служба МГТУ.
Отмечается, что ионные источники серии "БИИ" предназначены для замещения импортных аналогов на российских предприятиях радиоэлектронной, микроэлектронной и оптической промышленности.
Коллектив НОЦ "Ионно-плазменные технологии" МГТУ им. Н.Э. Баумана создал четыре модели разной мощности и полный комплект документации для их серийного производства.
В вузе добавили, что работа по созданию устройства началась в августе 2022 года, до конца года был подготовлен технический проект и рабочая конструкторская документация, а в 2023 году изготовлены опытные образцы ионных источников и проведены предварительные тесты. В 2024 году опытные образцы успешно прошли государственные испытания.